Пространственное сканирование плазмы |
При нанесении покрытий важное значение имеет пространственное распределение параметров плазмы. Для его определения создана система спектральной диагностики плазмы, управление которой осуществляется дистанционно.
Сбор излучения из локальных областей разряда в МРС производится с помощью перемещаемой оптической головки, соединенной с оптоволокном. Для пространственного сканирования разряда используется шаговый двигатель. Формирование управляющего сигнала осуществляется программно через цифровые каналы модуля сопряжения и позволяет обеспечить позиционирование оптической головки с высокой точностью. Программа вычисляет количество импульсов для перемещения и генерирует их на цифровом выходе модуля сопряжения.
Программный интерфейс удаленного управления шаговым двигателем реализован в среде графического программирования LabVIEW.
|