МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Н.Э. БАУМАНА
ДЕМОНСТРАЦИОННАЯ ВЕРСИЯ!!!

ИНТЕРНЕТ-ЛАБОРАТОРИЯ "СПЕКТРОМЕТРИЯ ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ"

   Вход в систему

   Регистрация

   Восстановление пароля

   Контактная информация

ОБОРУДОВАНИЕ

   Спектрометр

   Оптическая скамья

   Оптическое разрешение

   CCD-детектор

   Микропроцессор

   Оптическое волокно

   Коллимационная линза

   Объекты исследования

   Лампа AVALight

   Галогеновая и дейтериевая лампы

ПАРАМЕТРЫ УПРАВЛЕНИЯ СПЕКТРОМЕТРОМ

   Оптические каналы

   Сглаживание

   Время интегрирования

   Усреднение

   Коррекция по динамическому темновому фону

   Уровни детектирования насыщения

ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ

   Техника и практика спектрометрии

   Качественный анализ спектра источника излучения

   Определение электронной температуры плазмы

ПЛАЗМЕННЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ

   Плазмофизический стенд для нанотехнологий

   Схема эксперимента

   Пространственное сканирование плазмы

   Управление давлением и составом смеси плазмообразующих газов

   Интерфейс управления
 
Управление давлением и составом смеси плазмообразующих газов
Для управления давлением газа в диапазоне 0,01 - 5,0 Па в камере стенда реализована система автоматического регулирования. Давление в вакуумной камере измеряется при помощи термопарного манометрического преобразователя, выход которого соединен с усилителем постоянного тока. Затем сигнал подается на вход АЦП модуля USB-NI6259. Два регулятора РРГ управляют расходами плазмообразующих газов. Управление исполнительными элементами осуществляется аналоговым сигналом через ЦАП. Использование двух регуляторов позволяет поддерживать в камере требуемый состав газовой смеси. Программа управления газовакуумной системой реализована в среде LabVIEW.


Экспериментатор имеет возможность либо управлять давлением "вручную", задавая расход рабочего газа, либо использовать автоматический регулятор, указывая значение давления, которое необходимо стабилизировать. В окне отображаются текущие величины расхода, давления, а также график зависимости давления газа в вакуумной камере от времени.