Управление давлением и составом смеси плазмообразующих газов |
Для управления давлением газа в диапазоне 0,01 - 5,0 Па в камере стенда реализована система автоматического регулирования. Давление в вакуумной камере измеряется при помощи термопарного манометрического преобразователя, выход которого соединен с усилителем постоянного тока. Затем сигнал подается на вход АЦП модуля USB-NI6259. Два регулятора РРГ управляют расходами плазмообразующих газов. Управление исполнительными элементами осуществляется аналоговым сигналом через ЦАП. Использование двух регуляторов позволяет поддерживать в камере требуемый состав газовой смеси. Программа управления газовакуумной системой реализована в среде LabVIEW. 
Экспериментатор имеет возможность либо управлять давлением "вручную", задавая расход рабочего газа, либо использовать автоматический регулятор, указывая значение давления, которое необходимо стабилизировать. В окне отображаются текущие величины расхода, давления, а также график зависимости давления газа в вакуумной камере от времени. 
|