МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Н.Э. БАУМАНА
ДЕМОНСТРАЦИОННАЯ ВЕРСИЯ!!!

ИНТЕРНЕТ-ЛАБОРАТОРИЯ "СПЕКТРОМЕТРИЯ ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ"

   Вход в систему

   Регистрация

   Восстановление пароля

   Контактная информация

ОБОРУДОВАНИЕ

   Спектрометр

   Оптическая скамья

   Оптическое разрешение

   CCD-детектор

   Микропроцессор

   Оптическое волокно

   Коллимационная линза

   Объекты исследования

   Лампа AVALight

   Галогеновая и дейтериевая лампы

ПАРАМЕТРЫ УПРАВЛЕНИЯ СПЕКТРОМЕТРОМ

   Оптические каналы

   Сглаживание

   Время интегрирования

   Усреднение

   Коррекция по динамическому темновому фону

   Уровни детектирования насыщения

ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ

   Техника и практика спектрометрии

   Качественный анализ спектра источника излучения

   Определение электронной температуры плазмы

ПЛАЗМЕННЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ

   Плазмофизический стенд для нанотехнологий

   Схема эксперимента

   Пространственное сканирование плазмы

   Управление давлением и составом смеси плазмообразующих газов

   Интерфейс управления
 
Плазмофизический стенд для нанотехнологий
Для проведения экспериментов используется сетевой доступ к автоматизированной плазменной установке технологического назначения на базе магнетронной распылительной системы (МРС), которая позволяет генерировать потоки атомов распыляемой мишени, осаждаемых на подложках. МРС обеспечивает нанесение высококачественных бескапельных многокомпонентных покрытий и получение тонких нанопленок с заданными физическими свойствами. Разряд в магнетроне поддерживается в широком диапазоне давлений плазмообразующих газов.